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    1.            

      洛陽愛科麥鎢鉬科技股份有限公司

      地址:河南省洛陽市新安縣洛新產業集聚區縱三路東
      郵箱:sales@achemetal.net


      電話:037965190900 藍寶石事業部 (侯晶晶)
      電話:037965190908 基礎材料及醫療事業部(朱曉靜)
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      電話:037965999032 濺射靶材事業部 (張春燕)
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      氣軸襯

      氣軸襯
      • 如果您對該產品感興趣的話,可以
      • 產品名稱:氣軸襯
      • 產品型號:根據客戶圖紙
      • 產品展商:ACHEMETAL
      • 產品文檔:無相關文檔
      簡單介紹

      洛陽愛科麥難熔金屬有限公司擁有車、銑、刨、磨、電加工、加工中心等各種設備,可按用戶要求加工各種離子注入用鎢氣軸襯和鉬氣軸襯等離子源組件。 我公司加工制作的離子注入用離子源氣軸襯具有密度高,純度高,尺寸精度好的特點。

      產品描述

       

      氣軸襯是離子注入機離子源的重要組件。不同粒子注入機廠家的氣軸襯有不同的形狀和規格。我公司可根據客戶圖紙加工成型。由于我們生產加工氣軸襯所需的鎢鉬原材料,所以除氣軸襯尺寸精度外,產品性能可以得到保障。

       

      根據不同廠家設計,氣軸襯可能由鎢材質或鉬材質制成。


      離子注入是現代集成電路制造中的一種非常重要的技術,其利用離子注入機實現半導體的摻雜,即使用鎢絲作為陰極發射電子轟擊含有特定的雜質元素的氣體分子,產生電離的特定雜質原子經靜電場加速后打到硅單晶圓片表面,并打入半導體內部,改變導電特性并*終形成晶體管結構。

       

      由于在離子源發生的電子轉換為電漿離子時,會產生2000℃以上的工作溫度,離子束噴發時,也會產生很大的離子動能,一般金屬會很快燒熔,因此需要質量密度較大的惰性金屬,以維持離子束噴發方向,并增加組件耐用度,鎢鉬是必選材料。由于鎢鉬材料高溫化學性質穩定、熱變形小和使用壽命長等優點,因此半導體行業離子注入機弧光反應腔零組件及耗件多采用鎢、鉬材料制造,這些器件包括發射電子陰極的屏蔽筒、發射面板、中心固定桿、起弧室內的絲極板等,我們統稱為離子注入用鎢零件和離子注入用鉬零件。

       

      離子注入用鎢鉬零件所用材料經過對傳統鎢鉬材料工藝進行優化,包括細晶化、合金化處理,真空燒結和熱等靜壓燒結致密化,二次晶粒細化控軋技術,普遍提高傳統鎢鉬材料的壽命、耐高溫及抗蠕變性能。

       

      我公司生產的離子注入用鎢鉬零件晶粒度細化,相對密度≥99%,高溫力學性能指標比普通鎢鉬材料明顯提高,使用壽命也明顯延長。

       

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